時間：2019-12-05 閲覧時間：257次
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設備名: |
セラミック吸盤 |
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メーカー: |
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型号: |
丸型/方型 |
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年: |
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デバイスの状態: |
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多孔性吸盤(吸着ステージ)とは,半導体の製造段階でDicing saw(ダイシングソー)や検査装置に組み込まれる部品を指す。テーブル表面の多孔質構造と陰圧を利用し,薄いシリコンシートなどを平面に保持できる製品である。ダイシングソー(ダイシングマシーン)はシリコンチップを20μm程度の幅で切断するため,ウェハ吸着面に対する平面度平行度が非常に高いことが求められる。
多孔性吸盤の規格:
形状:丸形・四角形・円柱形・特殊形(各種形状作成可)
本体材質:ステンレス、チタン合金、アルミ、セラミック
多孔体材料:セラミック、ステンレス、カーボン、PTFE
サイズは円形(φ5㎜~φ500㎜)
角型(□5mm~□350mm)
本体表面処理:フッ素樹脂加工、耐酸アルミニウム、防錆ブラックフィルムLD処理、無電解クロムめっき
多孔体材料:3μm~580μm
