时间：2019-12-05 浏览次数：2535次
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设备名称: |
eFlow Series |
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厂家: |
DIC GROUP |
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型号: |
C Series |
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年份: |
now |
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设备状态: |
new |
eFLOW Series是通过使用DIC自主开发的「中空纤维透气膜」补充二氧化碳的方法控制超纯水电阻率值的装置。可得到防止因静电引起的「灰尘再次附着」和基板图形的防「静电破坏」的效果。
特征
n由于结构简单，故障少
n采用独特的配管分配方式，易于控制电阻率值且稳定性优良
n二氧化碳供气模组的寿命长（保证期限为5年，本公司制）
主要用途
n掩模、网袋的清洗 n洗涤器清洗 n高压喷射清洗 n切割工序的清洗 n槽清洗
产品阵容
Cabinet Type（C Series）
C Series附带可装入2个CO2气瓶的机柜。电阻率传感器内置于机柜内，可通过eFLOW直接把水管连接使用场所。
型号一览表
| 处理流量（L/min） | 型号 | 模组 |
|---|---|---|
| 1-16 | 1AC-P101 | PF-001L-NA 1个 1module |
| 5-30 | 2AC-P101 | PF-001L-ND2 2个 2modules |
| 10-50 | 3AC-P101 | PF-001L-ND3 2个 2modules |
