P Series

FLOW Series是通过使用DIC自主开发的「中空纤维透气膜」补充二氧化碳的方法控制超纯水电阻率值的装置。可得到防止因静电引起的「灰尘再次附着」和基板图形的防「静电破坏」的效果。

特征

n由于结构简单，故障少

n采用独特的配管分配方式，易于控制电阻率值且稳定性优良

n二氧化碳供气模组的寿命长（保证期限为5年，本公司制）

主要用途

n掩模、网袋的清洗   n洗涤器清洗   n高压喷射清洗   n切割工序的清洗   n槽清洗

产品阵容

Panel mount Type（P Series）

P Series可安装在符合EIA（美国电子工业协会）规格的支架上。1AP型为标准机，连接部全清洁规格，2AP型为选购件，可对应全清洁规格。